半導(dǎo)體新材料廢氣處理

隨著科技的發(fā)展，目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應(yīng)用范圍更廣了，新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開(kāi)發(fā)投入高，產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的國(guó)際性強(qiáng)，而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分，在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面講解一下關(guān)于：新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣應(yīng)該怎么處理。
電子廠涉及到的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，主要可以分為，半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。
半導(dǎo)體制造工藝
1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法
　　現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過(guò)程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(VOCs)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。
2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：
　　將普通的220V/380V交流電通過(guò)變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開(kāi)這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無(wú)污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：
　　放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
　　反應(yīng)快，不受氣速限制。
　　采用防腐蝕材料。
　　只需用電，操作極為簡(jiǎn)單。
　　設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速，隨用隨開(kāi)，常溫常壓下即能使用。
　　氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理。
4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。
5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析
　　半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。
6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來(lái)源
　　半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣，主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡(jiǎn)單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過(guò)程產(chǎn)生的烘烤廢氣。
　　含毒氣性廢氣，其來(lái)源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。
　　電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)，在實(shí)際設(shè)計(jì)中，需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置，來(lái)攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。
　　針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣，采用兩級(jí)堿噴淋塔處理系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行處理。通過(guò)對(duì)比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對(duì)氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級(jí)堿噴淋塔凈化工藝，以達(dá)到高效凈化、經(jīng)濟(jì)可行、穩(wěn)定性高的效果。
新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來(lái)處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣：工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體四種，自身具有的溶解特性，半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。

RTO設(shè)備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù)，升溫能源一般是電和天然氣，其高溫需高達(dá)700度或者以上，雖然溫度需高達(dá)700度左右，但是其實(shí)消耗的能源并不多，設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。
來(lái)源：環(huán)保